Staðlar agnaþurrku

PSL Wafer Standards og Silica Particle Wafer Standards eru framleiddar með agnaaflagningarkerfi sem mun fyrst greina PSL stærðartopp eða kísilstærðartopp með Differential Mobility Analyzer (DMA). DMA er mjög nákvæm agnaskönnunartæki, ásamt þéttingar agna gegn og tölvustýringu til að einangra mjög nákvæma stærðartopp, byggt á kvarðun á NIST rekjanlegri kornastærð. Þegar stærðartoppurinn hefur verið staðfestur, er kornastærðarstraumnum beint að frumkísil, stöðluðu yfirborði obláta; talið þar sem það er afhent í fullri útfellingu yfir oblátið, eða sem blettafellingu á tilteknum stöðum í kringum oblátið. Wafer staðlar eru mjög nákvæmir í agnastærð við kvörðun á KLA-Tencor Surfscan SP1, KLA-Tencor Surfscan SP2, KLA-Tencor Surfscan SP3, KLA-Tencor Surfscan SP5, Surfscan SPx, Tencor 6420, Tencor 6220, Tencor 6200, ADE, Hitachi og Topcon SSIS verkfæri og oblátaeftirlitskerfi. - 2300 XP1 agnaaflagningarkerfið getur lagt á 150mm, 200mm og 300mm obláta með því að nota PSL kúlur eða kísilagnir frá 30nm til 2um.

Differential Mobility Analyzer, DMA Spennuskanna, kísilstærðartopp, 100nm
Differential Mobility Analyzer, DMA Spenna, kísilstærð hámark við 100nm
PSL kúlu stærðastaðlar og kísilstærðastaðlar eru skannaðir af mismunagreiningartæki til að ákvarða raunverulegan hámarksstærð. Þegar búið er að greina toppstærðina er hægt að setja obláta staðalinn sem fulla útfellingu eða staðfellingu, eða sem margfeldi staðsetningar skífunnar. Hámark kísilstærðar við 100 nanómetra (0.1 míkron) er skannað hér að ofan og DMA skynjar sannan kísilstærðstopp við 101nm.

Fullar útfellingar eða blettur útfellingar wafer staðlar

ÓSKA EFTIR TILVITNUN
Skiptingarkerfi agna veitir mjög nákvæma PSL kvörðunarskífu staðla og kísil mengunarskífu staðla.

2300 XP1 agnaútfellingarkerfið okkar veitir sjálfvirka eftirlit með agnaútfellingu til að framleiða PSL Wafer staðla og kísilþurrku staðla.

Umsóknir um útfelling agna
Stærð og flokkun með mikilli upplausn, NIST rekjanleg DMA (mismunagjafar hreyfanleiki) og stærri flokkun en ný SEMI staðlar M52, M53 og M58 siðareglur fyrir PSL stærð nákvæmni og stærð dreifingar breidd
Sjálfvirk kvörðunarstærð útfellingu við 60nm, 100nm, 269nm og 900nm
Háþróaður DMA-tækni (Differential Mobility Analyzer) með sjálfvirkum hitastig og þrýstingi til að bæta stöðugleika og nákvæmni mælinga
Sjálfvirkt útfellingaferli veitir margar blettur á einum skífunni
Heilar úðabreytingar á breiddinni; eða Spot Depositions á hverjum stað á skífunni
Hátt næmni sem gerir PSL kúlu og kísil agna útfellingu frá 20nm til 2um
Settu kísilagnir fyrir kvörðun á úðaskoðunarkerfum þínum með hádrifinni leysirskönnun
Settu PSL kúlur fyrir kvörðun á úðaskoðunarkerfum þínum með lágknúnu leysir skönnun
Settu PSL kúlur og kísilagnir upp á aðal kísilþurrku staðla eða 150mm ljósmynd grímurnar þínar.

PSL kvörðunarskafla staðall, kísilmengunarskífulaga staðall
Agnaútfellingartæki eru notuð til að setja mjög nákvæman PSL stærð staðal eða kísil agnastærðastaðal á skífustaðlinum til að kvarða ýmis skífuskoðunarkerfi.

PSL Kvörðunarþurrkur Standard fyrir kvörðun á skoðunarkerfi á obláta með lágknúnum leysi til að skanna skafla.
Kísilmengunarskífan Standard fyrir kvörðun á skoðunarkerfum á obláta með hádrifnum leysi til að skanna skífur.
Kvörðunarmaski staðall eða kísilmálmastaðall
ÓSKA EFTIR TILVITNUN
2300 XP1 okkar setur NIST rekjanlegan, löggiltan maskarastaðal á 125mm og 150mm borosilicate grímur.

PSL kvörðunargríma staðall á 125mm grímur
Kísilmengunarstaðall á 150mm grímur