Applied Physics USA
Pólýstýren latexperlur, agnastærð staðlar
Applied Physics Bandaríkin: PSL kúlur, pólýstýren örkúlur, kornastærðarstaðlar
Applied Physics USA býður upp á PSL-kúlur og pólýstýrenperlur sem kornastærðarstaðla fyrir kvörðun úðatækja. Wafer Inspection verkfæri, eins og KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE og Hitachi krefjast einnig stærðarkvörðunar, sem er náð með því að nota pólýstýren latex kúlur. PSL kúlur, pólýstýren örkúlur og perlur, eru veittar í stærðum frá 20 nm til 10 míkron til að kvarða stærðarviðbragðsferla viðkomandi oblátaskoðunarkerfa og leysikornateljara. PSL kúlur frá 20 nm til um 5 míkron eru venjulega notaðar til að kvarða stærðarsvörun leysikornateljara. Hægt er að nota pólýstýren örkúlur til að framleiða kvörðunarskúffustaðla og ögnskúffustaðla, sem eru notaðir til að kvarða stærðarsvörun KLA-Tencor Surfscan verkfæra og eldri Tencor Surfscan verkfæra
Applied Physics USA
Hægt er að panta pólýstýren latex perlur með því að hringja Applied Physics á (719) 428-4042.
Wafer Inspection Systems, sem vísað er til sem Scanning Surface Inspection Systems, SSIS, einkum frá KLA-Tencor og Hitachi, eru kvarðuð með PSL Wafer Standards, sem eru Prime Silicon oblátur settar með PSL kúlum í tilteknum stærðum og þröngri stærðardreifingu. Skoðunartækin fyrir obláta eru notuð til að skoða hreinleika 300 mm, 200 mm, 150 mm flötum; ber kísil eða filmu útfelld, flöt yfirborð. SSIS getur greint X/Y staðsetningu PSL kúlanna og agnanna, lýst stærð hvers galla sem og dregið saman heildarfjölda agna á yfirborði skífunnar. KLA-Tencor oblátaskoðunarkerfi, eins og Tencor 6200, 6420 og KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 og KLA-Tencor SP3, eru notuð um allan hálfleiðaraiðnaðinn fyrir þetta forrit. Topcon er með 3000, 5000 og 7000 röð Wafer Inspection Systems. Estek, ADE, Aeronca og Hitachi bjóða einnig upp á margs konar oblátaskoðunarkerfi. Næstum hvert SSIS sem framleitt er í dag er nú fær um að greina við 30 nm kornastærðarnæmi eða betra. PSL kúlur eru notaðar til að tákna kornastærðarstaðla á yfirborði skúffunnar. Applied Physics býður upp á PSL kúlustærðir frá 20 nm til 160 míkron fyrir stærðarkvörðun, HEPA síupróf osfrv. Hægt er að panta PSL kúlur með því að hringja Applied Physics á (719) 428-4042.
PSL kúlur eru notaðar með PSL Wafer útfellingarkerfi til að framleiða PSL Wafer staðla, einnig vísað til sem agnaþurrkur staðla. Í báðum tilvikum, eftir að PSL Wafer Standard er framleiddur, er hann síðan settur á skoðunarkerfi obláta og skannað með einum leysir SSIS eða tvöföldum leysir SSIS. Raunverulegt PSL stærð svar er borið saman við SSIS stærð svar. Ef topparnir tveir eru ekki samsvarandi verður að kvarða SSIS. Blandað, PSL kúlur með mikla styrk eru fyrir 2300XP1 kerfi, 2300 NPT-1 kerfi, 2300NPT-2 og M2300G3 útfellingarkerfi.
PSL kúlur, 1% styrkur.
Forblönduðu PSL kúlur koma í 50ml flösku, einskipt að stærð (1 stærð dreifingar) og eru fáanlegar frá um það bil 47nm til 950nm að stærð. Þessu PSL lausn er hellt beint í úðara eða úðabrúsa. Forblönduð er þægileg leið til að kaupa pólýstýren latexperlur, þar sem öll þynningin hefur verið unnin á mjög einsleitan hátt, engin kram, engin læti, sem gerir notandanum kleift að takast ekki á við að blanda pólýstýren latexperlunum með bikarglasum, DI vatni og ultrasonic bakkar. Óblönduðu PSL efnið er fáanlegt í 15ml flösku, einskipt að stærð (1 stærð dreifingar) og venjulega í 1% styrk. Þessar PSL kúlur eru til í fjölmörgum stærðum en í okkar tilgangi, frá 20nm til 4um að stærð. PSL efninu verður að blanda til réttrar þynningar eða það verður að vera þétt eða of veikt til að veita árangursríkar niðurstöður þegar reynt er að setja af einu af ofangreindum PSL Wafer Deposition Systems. CleanRoom Foggers Link