Agnaútfellingarkerfi, PSL útfellingarkerfi

 

Líkan 2300 NPT-2 útfellingu agnaGerð 2300 NPT-2 -
Óska eftir tilboðum

2300 NPT-2 er með FOUP byggð, sjálfvirkt tvöfalt þrep meðhöndlunarkerfi og hægt er að setja upp fyrir 300 mm notkun á báðum stigum eða 200 mm Bridge forrit á einum stigi og 300mm aðgerðum á 2. stigi. Snerting við obláta er meðhöndluð með brún gripi með sjálfvirkni kerfinu. Hægt er að leggja allt að 50 bletturinnlagningu, fullar afhendingar eða hringuppsetningar frá 10 mismunandi stærðarflöskum. 2300 NPT-2 ræður bæði við PSL kúlur sem og ýmsar vinnsluagnir eins og kísill nitríð, kísiloxíð, títanoxíð, wolfram; Kopar og Tantal málmar.

NPT-2 þarf ekki að rekstraraðilinn blandi lausnum þar sem NPT-2 fylgist með styrk agna og blandar lausnum á flugu. Þegar nýjar lausnir eru nauðsynlegar, eru 12 agnaheimildirnar plug-and-play. NPT-2 er hannaður til að styðja bæði kvörðun við mælingu á stærð við stærðfræði, sem og að framleiða magn af agnastöðlum til að ögra hreinsun skilvirkni WET Clean stöðvanna þinna og bæta hreinsun skilvirkni WET bekkinn þinn til að styðja við ferli með óviðunandi ögn ávöxtunarkrafa. NPT-2 er fær um að veita sterka arðsemi og greiðir þannig fyrir sig á stuttum tíma.

  • 20nm til 1um PSL og kornaflagning (sjá mynd hér að neðan af 22.37nm útfellingu)
  • Valfrjáls 2 ára ábyrgð, fyrirbyggjandi viðhaldsforrit

Agnaútfelling

Nánar - Óska eftir tilboðum

Þessi útfellingarkerfi agna er með fullkomnustu agnafjölgun, rafstöðueiginleika og útfellingartækni til að búa til mjög nákvæmar PSL-skífustaðla til að kvarða KLA-Tencor, beitt efni, TopCon, Hitachi og ADE köflunarskífur.
Þeir geta einnig sett vinnsluagnir á skífur til að búa til WET Bench Particle Standards til að skora á hreinsun skilvirkni WET Clean bekkja.

Hreinsun skilvirkni á 3.0% til 10% er möguleg fyrir hreinsunarkerfi með þessum háþróuðu verkfæri til agnaútbrots og skapa frábæra arðsemi. Hægt er að setja einsleitar vinnsluagnir af SiO2, Al2O3, TiO2, Si3N4, Si, Ti, W, Ta, Cu o.s.frv. Á skífur til að veita agnir á viðloðunarafbrigði svo að hreinsitæki til að hreinsa megi raunhæf mat.

2300 NPT-2 er með fullkomlega sjálfvirka notkun til stuðnings 200mm Bridge kröfum og 300mm FOUP kröfum. NPT-2 er hannað til að styðja bæði mælingafræði Stærðarsvörun kvörðunar á Wafer skoðunarkerfi; sem og blautbekkjaforrit með handfrjálsri, sjálfvirkri notkun.

2300 NPT-2 eiginleikar og forrit - Óska eftir tilboðum

  • Stærð og stærð flokkunar DMA stærð með NIST (National Institute of Standards and Technology) er meiri en nýju SEMI staðlarnir M52, M53 og M58 siðareglur fyrir PSL stærð nákvæmni og breidd á stærð dreifingar.
  • Kvörðun á sjálfvirkri stærð með því að nota NIST 60.4nm SRM, auk 100.8nm, 269nm og 895nm NIST SRM
  • NPT, kvörðun Nano agna fjarlægir agnir í bakgrunnsgeislum sem valda verulegri stærðarbreytingu er hefðbundin DMA byggð PSL útfelling. MSP er eina fyrirtækið sem býður upp á þessa nýju getu, TRUE SIZE CALIBRATION til viðskiptavina sinna
  • Háþróaður DMA-tækni (Differential Mobility Analyzer) með sjálfvirkum hitastig og þrýstingi til að bæta stöðugleika og nákvæmni mælinga.
  • PM dagatal viðvarar flatskjá (FPD) til að minna rekstraraðila á að viðhald sé krafist.
  • Notendavænn uppskriftastýrt hugbúnaður
  • Sjálfvirkt útfellingaferli veitir margar útfellingar á einni eða fullri snældu af skífum, fylgt eftir með sjálfhreinsun og hreinsun.
  • Sjálfvirk staðsetning stúta og snúningur á obláta gerir það kleift að búa til margvísleg útfellingarform: margfeldi blettur, hringlaga, útfellingar með fullum obláta og önnur sérsniðin form.
  • Sjálfvirk meðhöndlun obláta veitir hraðvirka, handfrjálsa tölvuafgreiðslu fyrir 300 mm og 200 mm skífur sem hægt er að nota.
  • CE-merki, SEMI S2, S8, S14 samhæft, SEMI M52, SEMI M53 og SEMI M58 staðla
  • Heilar úðabreytingar á vöfflum, blettur og hringafíflar á hvaða stað sem er á skífunni.
  • Tólf ögn uppsprettur fyrir árangursríka og skjóta útfellingu allt að 50 mismunandi PSL stærðum eða vinnslu agnastærðum
  • Hátt næmi sem gerir PSL kúlu og vinnslu agna úrkomu frá 20nm til 1um, eða mögulega
  • Settu vinnslu ögn á skífur til að veita raunhæfan viðloðun milli agna og flatarborðs fyrir yfirborð hreinsunarferla og bæta hreinsikerfi til að auka skilvirkni og gegnumgang.
  • Settu PSL kúlur á obláta til að búa til kvörðunarstaðla fyrir KLA-Tencor, beitt efni, Topcon, Hitachi og ADE köflustöðvum.
  • Heilar útfellingar, bletturaflagnir, bogaaflagnir og hringuppfellingar
  • 2300 NPT-2E, EDGE Deposition System
  • 2300 NPT-2W, WET agnaútfellingarkerfi

Settu PSL kúlur og vinndu agnir á bera, filmulagaða og mynstraða skífu til að kanna áhrif yfirborðsins. Settu ferli agnir á yfirborðið og EDGE til að kanna flæði ögn og WET Hreinsa ögn flutninga til stuðnings áætlunum til að draga úr ögnum.

Gerð 2300 NPT-1 - Óska eftir tilboðum

FYRIRMYND 2300 NPT-1 styður öll 200 mm og 300 mm mælifræðiforrit með handvirkri hleðslu á obláta til að framleiða PSL wafer staðla til að kvarða stærð svörunarferla verkfæra eins og KLA-Tencor SP1, SP2, SPX wafer skoðunarkerfi; auk Topcon, Hitachi, ADE og AMAT Wafer Inspection Systems. 2300 NPT-1 kerfið veitir leifarlausar, sannar kvörðunarstærðir á PSL kúlu og vinnslu agnaafsetningar. Sendu tölvupóst til John Turner til að fá frekari upplýsingar um 2300 NPT-1.

  • Hefðbundin 20nm til 1um PSL og agnaflagning
  • Venjulegur handvirkur rennibrautarhleðsla á PEEK flatarpinnar
  • Valfrjáls 2 ára ábyrgð, fyrirbyggjandi viðhaldsforrit

MODEL 2300 XP1
- Óska eftir tilboðum

MODEL 2300 XP1 styður KLA-Tencor 6200 seríur, 6400 seríur, SP1-TBI, eldri TopCon, Hitachi og ADE Wafer skoðunarkerfi.

  • Hefðbundin 80nm til 1um PSL og agnauppskafningur, handvirkt álag fyrir 150mm, 200mm, 300mm;
  • Valfrjáls 50nm lægri næmi, 2 ábyrgð ár, Forvarnir viðhaldsforrit
Þýða »