PSL rafall er hannað til að ögra ULPA og HEPA hreinherbergissíum sem hluta af skilvirknivottunarferlinu. HEPA síur gefa 4/9 og 5/9 skilvirkni einkunnir, en ULPA síur gefa 6/9 og 7/9 einkunnir.

PSL kúlur við 0.3 um eru almennt notaðar til að ögra HEPA síum og greina leka á pinnaholum, en PSL kúlur við 0.15 μm eða 0.12 μm eru notaðar til að skora á ULPA síur og greina leka í holu.

Hraði PSL áskorunar er afar mikilvægt, þar sem 6/9 sía hefur getu til að fanga 99.9999% allra agna sem streyma í gegnum síuna. Það er 1 ögn af 1 milljón sem kemst í gegnum 6/9 síu, þannig að til þess að ögra síu með þessari miklu afköstum þarf PSL rafal með miklu magni. PSL rafalar geta náð þessari háu hljóðstyrk upp á 7.2×10 10 við 0.10 μm. PSL úðabrúsanum er blandað við viðeigandi loftstreymi og DI vatnið gufar upp úr kúlum áður en sían kemst í snertingu.

Aðstaða

• • Hár PSL-myndunarhraði 7.2×10 10 á mínútu við 0.10μm PSL-kúlastærð

• • 1×10 8 PSL kúlur/ft 3, 0.1 um PSL stærð, 720 cfm loftflæði á 2×4′ síum, 90 fet/mín. andlitshraði

• • Eindreifð PSL kúludreifing með lágmarksdreifingu þríliða þyrpinga

• • Lágmarks tvöfaldar og þríhlaðnar agnir með PO210 jónara (aðeins til notkunar í Bandaríkjunum)

• • Mikil afköst, einkaleyfisskyld úðunartæki til að viðhalda litlum DI vatnsdropa

• • Neysla á PSL kúlum fer ekki til spillis með hröðum kveikju/slökkva og hröðum rampahraða

• • Fjarstýring leyfir að rafalinn sé innifalinn í síuprófunarkerfum

• • Mjög stöðug framleiðsla PSL kúlu yfir langan notkunartíma

• Ryðfrítt stál girðing með frábærum stjórntækjum til að gera rafalinn sjálfvirkan