Surf-Cal, kornastærðarstaðlar, 50 ml rúmmál, forblandað í 1x10E8 og 1x10E10 styrk / ml
SURF-CAL™ kornastærðarstaðlar sem notaðir eru við stærðarkvörðun og eftirlit með skanna yfirborðsskoðunarkerfum (SSIS). Kornastærðir hér að neðan samsvara kvörðunaragnastærðunum sem framleiðendur hljóðfæra þurfa. Þú ættir að ljúka reglubundnum kvörðunarathugunum og vikulegu eftirliti með stærð og fjölda til að tryggja að oblátaskoðunarskanni þinn standi saman við skanna á öðrum stöðum. Allar pólýstýren örkúlur eru sviflausnar í afjónuðu, síuðu vatni í 50 ml flöskurúmmáli í styrkleikanum 3 × 10 E8 eða 1 × 10 E10 agnir á ml. Stærðir sem merktar eru með * eru svipaðar NIST SRM ögnum við það þvermál. Brotstuðull er 1.59 @ 589nm (25C) fyrir allar pólýstýren örkúlur hér að neðan. Hver flaska er stöðug í 12 mánuði og er pakkað með vottorði um kvörðun og rekjanleika til NIST.
Með því að setja SURF-CAL, NIST rekjanlegar PSL (pólýstýren latex) kúlur á beina sílikon- og mynsturskúffur, geturðu framkvæmt reglubundnar stærðarkvörðunarathuganir á KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS verkfærum þínum og borið saman oblátaskoðunarskanna þinn við skanna á öðrum stöðum. Þú getur líka metið árangur SSIS þíns á mikilvægum stigum í framleiðsluferlinu. Allar vörur eru sviflausnar í afjónuðu, síuðu vatni (DI vatn) í 50 ml flöskum í styrkleikanum 3 x10 e10 agnir/ml eða 1 x10 e10 agnir/ml. Þessir Surf-Cal kornastærðarstaðlar eru pólýstýren örkúlur sem hafa verið stærðaðar með Differential Mobility Analyzer (DMA) eða öðrum stærðarútilokunaraðferðum.
Part Number |
Styrkur Fjöldi/ml |
Þvermál agna |
Stærðardreifing |
Verð á 50 ml flösku |
APPD-047 | 3 x 108 agnir/mL | 0.047 μm | 0.004μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
APPD-047B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.047 μm | 0.004μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
APPD-064 | 3 x 108 agnir/mL | 0.064 μm | 0.003μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
APPD-064B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.064 μm | 0.003μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
APPD-083 | 3 x 108 agnir/mL | 0.083 μm | 0.004μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD-083B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.083 μm | 0.004μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD-092 | 3 x 108 agnir/mL | 0.092 μm | 0.004μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD-092B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.092 μm | 0.004μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD-100* | 3 x 108 agnir/mL | 0.100 μm | 0.003μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD-100B* | 1 x 1010 agnir/mL | 0.100 μm | 0.003μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD-125 | 3 x 108 agnir/mL | 0.126 μm | 0.003μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD-125B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.126 μm | 0.003μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD-155 | 3 x 108 agnir/mL | 0.155 μm | 0.003μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD-155B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.155 μm | 0.003μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD-200 | 3 x 108 agnir/mL | 0.202 μm | 0.004μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD-200B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.202 μm | 0.004μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD-204 | 3 x 108 agnir/mL | 0.204 μm | 0.004μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD-204B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.204 μm | 0.004μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD-215 | 3 x 108 agnir/mL | 0.220 μm | 0.003μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD-215B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.220 μm | 0.003μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD-305 | 3 x 108 agnir/mL | 0.304 μm | 0.004μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD-305B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.304 μm | 0.004μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD-365 | 3 x 108 agnir/mL | 0.360 μm | 0.005μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD-365B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.360 μm | 0.005μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD-500 | 3 x 108 agnir/mL | 0.498 μm | 0.006μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD-500B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.498 μm | 0.006μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD-800 | 3 x 108 agnir/mL | 0.809 μm | 0.006μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD-800B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.809 μm | 0.006μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD-802 | 3 x 108 agnir/mL | 0.802 μm | 0.009μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD-802B | 1 x 1010 agnir/mL | 0.802 μm | 0.009μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD1100 | 3 x 108 agnir/mL | 1.112 μm | 0.011μm |
$ 295.00 Setja í körfu |
AP PD1100B | 1 x 1010 agnir/mL | 1.112 μm | 0.011μm |
$ 1495.00 Setja í körfu |
AP PD1600 | 3 x 108 agnir/mL | 1.59 μm | 0.016μm | $ 295.00 Setja í körfu |
AP PD2000 | 3 x 108 agnir/mL | 2.01 μm | 0.019μm | $ 295.00 Setja í körfu |
AP PD3000 | 3 x 108 agnir/mL | 3.04 μm | 0.026μm | $ 295.00 Setja í körfu |
Mælingaraðferð:
Til að tryggja NIST rekjanleika var vottað þvermál þessara vara flutt með rafeinda- eða ljóssmásjá frá NIST stöðluðum viðmiðunarefnum (2). Óvissan var reiknuð út með NIST Technical Note 1297, 1994 Edition "Guidelines for Evaluating and Expressing the Uncertainty of NIST Measurement Results" (4). Óvissan sem talin er upp er aukin óvissa með þekjustuðul upp á tvo (K=2). Hámarksþvermál var reiknað út með því að nota um það bil ± 2s svið kornastærðardreifingar. Stærðardreifingin var reiknuð út sem staðalfrávik (SDS) alls toppsins. Fráviksstuðullinn (CV) er eitt staðalfrávik gefið upp sem hundraðshluti af toppþvermáli. FWHM (full breidd við hálft hámark) dreifing var reiknuð sem dreifing á helmingi topphæðar, gefin upp sem hlutfall af toppþvermáli.
1. "The National Technology Roadmap for Semiconductors", Semiconductor Industry Association (1999)
2. SD Duke og EB Layendecker, "Innri staðalaðferð fyrir stærðarkvörðun á undirmíkrónu kúluögnum með rafeindasmásjá", Fine Particle Society (1988)
3. SEMI M52 - Leiðbeiningar til að tilgreina yfirborðsskoðunarkerfi fyrir kísilþurrkur 130 nm tækni kynslóð.
4. Barry N. Taylor og Chris E. Kuyatt, "Leiðbeiningar um að meta og tjá óvissu um NIST mælingarniðurstöður". NIST Technical Note 1297, 1994 útgáfa, september 1994.