NIST staðlað viðmiðunarefni Kornastærðarkvörðun
NIST, staðlað viðmiðunarefni, pólýstýren örkúlur og perlur sem notaðar eru í kvörðunar- og mengunarskúffustöðlum til að sannreyna stærðarnákvæmni KLA og KLA-Tencor oblátaskoðunarkerfa.
Lýsing
NIST SRM, agnastærð staðlar, PSL kúlur, kvörðunarstærð
NIST SRM agnastærðastaðlar eru kvörðunarstaðlar sem þekktir eru um allan heim til notkunar með hvaða forrit sem er sem krefst NIST SRM (stærð viðmiðunarefnis) stærðastaðals með afar nákvæmum stærð, þröngum stærð toppa og þröngt staðalfrávik. Hægt er að nota þau til að kvarða og staðfesta margvíslegan límbúnað agna, þ.mt ljósdreifibúnað, rafeindasmásjá og greiningaraðila með mismunadreifni. Þau eru sérstaklega mikilvæg til að kvarða yfirborðsskoðunarkerfi, sem notuð eru til að greina og einkenna galla á kísilplötum. Nauðsynlegar tilvísunaragnir eru nauðsynlegar til að þróa og efla skönnunarkerfin fyrir mikla afköst og hagkvæman skífaframleiðslu sem skiptir sköpum fyrir litlu litlu tæki. Tilvísunaragnirnar geta einnig verið notaðar til að afgreiða ein-dreifðar (stakar hámarkstoppar) agnir til að prófa úðabrúsa og eru nytsamlegar til að skoða úðabrúsa og meta svörun agna.
Löggilt gildi fyrir líkamsþvermál:
60 nm SRM 1964 pólýstýren örkúlur eru 60.39 nm, með aukinni óvissu upp á ± 0.63 nm;
100 nm SRM 1963A pólýstýren örkúlur eru 101.8 nm, með aukinni óvissu upp á ± 1.1 nm;
269 nm SRM 1691 pólýstýren örkúlur eru 269 nm, með aukinni óvissu upp á ± 4 nm;
895 nm SRM 1690 pólýstýren örkúlur eru 895 nm, með aukinni óvissu upp á ± 5 nm.
Mælingar voru gerðar með mismunagildisgreiningar og er hægt að rekja til He-Ne leysibylgjulengdar í lofti, 632.807 nm, sem hefur verið ákvarðaður með tilliti til grundvallarstaðals fyrir lengd.
Pólýstýren latex örkúlur, 20-900nm, pólýstýren latex agnir - Kaupa núna
Pólýstýren latex örkúlur, 1um-160um, pólýstýren latex agnir - Kaupa núna
Kúlulaga þvermál eru kvarðaðar með línulegum málum reiknað með NIST. Kúlur eru notaðar í stað óreglulega lagaðra agna til að lágmarka svörun leysiskanna sem eru viðkvæmir fyrir lagaðar agnir. Staðlinum er pakkað sem vatnslausn í 5 millilítra (ml) dropatali. Styrkur agna er háður til að auðvelda dreifingu og stöðugleika kolloidal. Kúlurnar hafa þéttleika 1.05 g / cm3 og brotstuðul 1.59 @ 589 nm, mældur við 25 gráður á Celsius.
Hver pakki inniheldur vottorð um kvörðun og rekjanleika til NIST sem inniheldur lýsingu á kvörðunaraðferðinni og óvissu hennar og töflu yfir efna- og eðlisfræðilega eiginleika. Efnisöryggisblað með leiðbeiningum um meðhöndlun og förgun er einnig fáanlegt. PSL flöskur eru tölusettar fyrir þægilega tækniþjónustu og stuðning eftir söluna.
NIST SRM kúlur | 60.4nm, 101.8nm, 269nm og 895nm |
Agnasamsetning | Pólýstýren latex, PSL kúlur |
Þéttleiki agna | 0.625 g / cm³ |
Breytingaskrá | 1.59 @ 589nm (25 ° C) |
flaska Size | 5 mL |
Dagsetning | ≤ 24 mánuðir |
Aukefni | Inniheldur snefilmagn yfirborðsvirks efnis |
Ráðlagður geymsluhraði. | 2-8 ° C |
Flaskastærð og rúmmál | 5ml flaska |
PSL kúlur, NIST SRM, 60.4nm, 101.8nm, 269nm, 895nm | ||||
Vöruhluti # |
Nafnþvermál |
Löggilt meðaltal |
Std. Dev & CV |
Innihald föst efni |
AP1690 |
895 nm |
895nm ± 5 nm |
0.7 nm |
0.50% |
AP1691 |
269 nm |
269nm ± 4 nm |
5.3 nm |
0.50% |
AP1963A |
101.8 nm |
101.8nm ± 1.1 nm |
0.55 nm |
0.50% |
AP1964 |
60.4 nm |
60.39nm ± 0.63 nm |
0.31 nm |
0.50% |