Agnaútfellingarkerfi, PSL útfellingarkerfi

MODEL 2300 XP1
- Óska eftir tilboðum

MODEL 2300 XP1 styður KLA-Tencor 6200 seríur, 6400 seríur, SP1-TBI, eldri TopCon, Hitachi og ADE Wafer skoðunarkerfi.

  • Hefðbundin 80nm til 1um PSL og agnauppskafningur, handvirkt álag fyrir 150mm, 200mm, 300mm;
  • Valfrjáls 50nm lægri næmi, 2 ábyrgð ár, Forvarnir viðhaldsforrit

NÝTT…Módel 2300 NPT-1 - Óska eftir tilboðum

MODEL 2300 NPT-1 styður öll 200mm og 300mm mælifræðiforrit til að kvarða stærðarviðbragðsferla verkfæra eins og Tencor 6200 röð, Tencor 6400 röð, KLA-Tencor SP1 og SP2 verkfæri, öll nýleg KLA-Tencor obláta skoðunarkerfi, TopCon, Hitachi , AMAT yfirborðsskönnunarskoðunarkerfi (SSIS). Nano Particle Technology kerfin veita Haze Leif-frjálsar, sannar kvörðunarstærðir á PSL kúlu og Process Particle Depositions. Sendu John Turner tölvupóst til að fá frekari upplýsingar um NPT-1, „True Size Calibration ™ kerfi.

  • Hefðbundin 20nm til 1um PSL og agnaflagning
  • Venjulegur handvirkur rennibrautarhleðsla á PEEK flatarpinnar
  • Valfrjáls 2 ára ábyrgð, fyrirbyggjandi viðhaldsforrit

Gerð 2300 NPT-2 - Óska eftir tilboðum

MODEL 2300 NPT-1 styður öll 200mm og 300mm mælifræðiforrit til að kvarða stærðarviðbragðsferla verkfæra eins og KLA-Tencor SP1, SP2 og öll nýleg KLA-Tencor oblátaskoðunarkerfi, TopCon 300, 400, 5000, 6000 röð, , Hitachi, AMAT Wafer Inspection Systems. Þetta kerfi veitir Haze Leif lausar, sannar kvörðunarstærðir á PSL kúlu og vinnsluagnaútfellingu. Sendu John Turner tölvupóst til að fá frekari upplýsingar um NPT-7000, „TRUE SIZE CALIBRATION ™ kerfi. Umtalsverðar endurbætur á hugbúnaði hafa komið í stað fyrri 2XP2300 getu.

NPT-2 er með FOUP byggt, tvíþrepa sjálfvirkt meðhöndlunarkerfi fyrir oblátur og hægt er að setja það upp fyrir 300 mm notkun á báðum stigum eða 200 mm brúarnotkun á einu stigi og 300 mm aðgerðir á 2. þrepi. Snerting á vaflum er meðhöndluð með kantgripi með sjálfvirknikerfinu. Hægt er að setja allt að 50 blettaútfellingar, fulla útfellingu eða hringútfellingar úr 10 mismunandi stærð upprunaflöskum. NPT-2 getur meðhöndlað bæði PSL kúlur sem og ýmsar vinnsluagnir eins og kísilnítríð, kísiloxíð, kopar, títanoxíð, wolfram, tantal; mállýsir, málmar og PSL kúlur.

NPT-2 krefst þess ekki að rekstraraðilinn blandi lausnum, þar sem NPT-2 fylgist með styrkleikanum, blandar lausnum á flugi og þegar þörf er á nýjum lausnum eru 10 uppsprettur allar plug and play. NPT-2 er hannað til að styðja bæði mælifræði stærð svar kvörðun, auk þess að framleiða magn af ögn oblátur staðla til að ögra hreinsun skilvirkni WET Clean stöðva þína, og bæta hreinsun skilvirkni WET bekknum þínum til að styðja við ferla með óviðunandi agnir ávöxtun. NPT-2 er fær um að veita sterka arðsemi og borga sig þannig fyrir sig á stuttum tíma. Umtalsverðar endurbætur á hugbúnaði hafa komið í stað fyrri 2300XP2 getu.

  • 20nm til 1um PSL og agnaaflagning
  • Valfrjáls 2 ára ábyrgð, fyrirbyggjandi viðhaldsforrit

Rafskerfi agnaNánar - Óska eftir tilboðum

Þessi afkastamikla, útfellingarkerfi agna eru með fullkomnustu agnafjölgun, rafstöðueiginleikum og útfellingartækni til að búa til mjög nákvæmar PSL (pólýstýren latex stærð staðla til að kvarða KLA-Tencor, beitt efni, TopCon, Hitachi og ADE úðakerfi.

Þeir geta einnig komið mono-dreifðum vinnsluögnum á skífurnar til að búa til WET Bench Particle Standards til að skora á hreinsun skilvirkni WET Clean bekkanna.

Hreinsun skilvirkni á 3.0% til 10% er möguleg fyrir hreinsunarkerfi með þessum háþróuðu verkfæri til agnaútbrots og skapa frábæra arðsemi. Hægt er að setja einsleitar vinnsluagnir af SiO2, Al2O3, TiO2, Si3N4, Si, Ti, W, Ta, Cu o.s.frv. Á skífur til að veita agnir á viðloðunarafbrigði svo að hreinsitæki til að hreinsa megi raunhæf mat.

Bæði 2300 XP1 og 2300 NPT-1 kerfin eru með uppskriftarstýringu og sjálfvirka útfellingu á mörgum stöðum og mörgum stærðum.

Hleðsla og afferming obláta fer fram með handvirkri hleðslu.

2300 NPT-2 er með fullkomlega sjálfvirka notkun til stuðnings 200mm Bridge kröfum og 300mm FOUP kröfum. NPT-2 er hannað til að styðja bæði mælingafræði Stærðarsvörun kvörðunar á Wafer skoðunarkerfi; sem og blautbekkjaforrit með handfrjálsri, sjálfvirkri notkun.

NPT-1 og NPT-2 Eiginleikar og forrit - Óska eftir tilboðum

    • Háupplausn, NIST (National Institute of Standards and Technology) rekjanleg DMA stærð og flokkun fara yfir nýju SEMI staðlana M52 og M53 samskiptareglur fyrir PSL stærð nákvæmni og stærð dreifingarbreidd.
    • MSP er fyrsta fyrirtækið sem útvegar nýja 1nm NIST SRM, auk hefðbundinna.65nm, 1007nm og 269nm NIST SRM sem notuð eru við stærðarkvörðun
    • NPT, Nano Particle Calibration fjarlægir bakgrunnsþokuagnirnar, sem valda verulegri stærðarbreytingu er hefðbundin DMA byggð PSL útfelling. MSP er eina fyrirtækið sem veitir viðskiptavinum sínum þessa nýju getu, TRUE SIZE CALIBRATION ™
    • Háþróaður DMA-tækni (Differential Mobility Analyzer) með sjálfvirkum hitastig og þrýstingi til að bæta stöðugleika og nákvæmni mælinga.
    • PM dagatal viðvarar flatskjá (FPD) til að minna rekstraraðila á að viðhald sé krafist.
    • Notendavænn uppskriftastýrt hugbúnaður
    • Sjálfvirkt útfellingarferli veitir útfellingu á mörgum stöðum á einni skúffu, fylgt eftir með sjálfhreinsun og hreinsun.
    • Sjálfvirk staðsetning stúta og snúningur á obláta gerir það kleift að búa til margvísleg útfellingarform: margfeldi blettur, hringlaga, útfellingar með fullum obláta og önnur sérsniðin form.
    • Sjálfvirk meðhöndlun obláta veitir hraðvirka, handfrjálsa tölvumeðferð fyrir 200 mm og 300 mm obláta.
    • CE-merki, SEMI S2, S8, S14 samhæft, SEMI M52 og SEMI M53 staðla samræmi
    • Heilar úðabreytingar á vöfflum, blettur og hringafíflar á hvaða stað sem er á skífunni.
    • Tíu Nano Particle Technology (NPT) uppsprettur fyrir skilvirka og hraða útfellingu á allt að 50 mismunandi PSL stærðum eða vinnsluagnastærðum
    • Hátt næmi sem gerir PSL kúlu og vinnslu agna úrkomu frá 20nm til 1um, eða mögulega
    • Settu vinnslu ögn á skífur til að veita raunhæfan viðloðun milli agna og flatarborðs fyrir yfirborð hreinsunarferla og bæta hreinsikerfi til að auka skilvirkni og gegnumgang.
    • Settu PSL kúlur á oblátur til að búa til kvörðunarstaðla fyrir KLA-Tencor, Applied Materials, TopCon, Hitachi og ADE obláta skoðunarkerfi.
    • Settu PSL kúlur og vinnðu agnir á beina, filmulaga og mynstraða skúffu til að rannsaka áhrif á yfirborði skífunnar og brotstuðul agna á sjónviðbrögð skúffukerfa.
Þýða »